鎢燈絲電鏡的低壓性能與與臺(tái)式電子顯微鏡不兼容的更多樣品*兼容。其低電壓性能非常有限，并且不能與大多數(shù)非導(dǎo)電樣品兼容。蔡司傳統(tǒng)的鎢絲掃描電子顯微鏡的加速電壓為0.2-30kV，電子束電流范圍為0.5pA-5uA。它的低電壓性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)臺(tái)式電子顯微鏡，并且具有低真空模式。它與導(dǎo)電樣品，非導(dǎo)電樣品和電子束*兼容。輻射敏感樣品，含水或除氣的樣品等。同時(shí)，獲取樣品的表面信息(無(wú)論是表面成像還是能譜)，可以為您顯示清晰樣品表面細(xì)節(jié)。

　　燈絲是臺(tái)式掃描電鏡（SEM）重要的模塊之一。它的目的是提供穩(wěn)定的電子束。在掃描電鏡（SEM）中，不同的電子源產(chǎn)生的電子束亮度不同，電子源的壽命也不同。掃描電鏡中使用的一種電子源：熱電子源。熱電子源有兩種：鎢和六硼化鈰（CeB6）。

　　什么是熱電子源?

　　當(dāng)材料被加熱時(shí)，電子被熱能激發(fā)。電子的熱能超過(guò)材料的逸出功時(shí)，發(fā)射強(qiáng)度提升。陰極是由高熔點(diǎn)材料制成的，其逸出功相對(duì)較低，易發(fā)射電子。

　　了解電子源的哪些特性是決定其性能的關(guān)鍵？

　　1）燈絲的亮度

　　亮度被定義為單位面積或單位體積電子束流量。在小束斑情況下，擁有的電流/電子越多，越能在高倍率下獲得高分辨率（高質(zhì)量）的圖像?？s小電子束的光斑尺寸以提高分辨率，但在某些時(shí)候，我們應(yīng)該優(yōu)先保障信噪比以獲得良好的圖像質(zhì)量。

　　2）燈絲尺寸

　　正如前面所提到的，較小的光斑尺寸有助于良好的圖像分辨率和獲得高質(zhì)量的圖像。鏡筒內(nèi)的電磁透鏡主要用來(lái)匯聚燈絲發(fā)射出來(lái)的電子束，以獲得較小的束斑尺寸。可以想象，越小的燈尖尺寸，越小的放射源，就不用復(fù)雜的結(jié)構(gòu)來(lái)縮小束斑尺寸。

　　3）燈絲溫度

　　燈絲溫度下，熱離子源的工作溫度在1800到2800開(kāi)氏度之間。